ELWIMAT-VFS 在角度与位置测量之外,新增高精度纵向长度测量功能

2026-04-14 23:26:52

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霍夫鲍尔光学公司通过其成熟测量系统的最新升级版本,推出了集成激光干涉仪的新型ELWIMAT-VFS。该系统在现有高精度角度与位置测定技术基础上,新增了纳米级纵向位置测量功能。
新型干涉仪采用光纤耦合激光光源,完全集成于现有ELWIMAT系统架构。由此可实现平移运动与长度变化同角度偏差的直接同步测量——这对复杂光机系统的特性分析具有决定性优势。
根据测量距离与环境条件,系统可实现10至100纳米范围的测量精度。结合环境参数(温度、压力、湿度)的精确采集,可针对性补偿空气折射率影响,确保实现高绝对精度。
ELWIMAT-VFS特别适用于精密光学、精密机械及仪器校准领域。典型应用场景包括光学组件调校测量、导向精度分析,以及最高分辨率的线性运动校准。
凭借模块化架构,系统可实现灵活配置——从单轴测量到多通道测量结构均可胜任。角度与长度分辨率测量技术集成于单一系统,为形位误差与运动误差的整体评估开辟了新途径。
ELWIMAT-VFS的推出再次彰显霍夫鲍尔光学在光学精密测量领域树立新标杆的追求,完美诠释了企业核心理念:
洞悉极限——突破极限。

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